內(nèi)氧化是指滲碳熱處理鋼在滲碳過程中雖然鐵元素未滿足氧化條件，但其中的合金元素如Cr、Mn、Si、Ti滿足氧化條件形成合金氧化物，從而使滲碳鋼表層出現(xiàn)須狀或點狀的脆性氧化物。

滲碳熱處理過程中產(chǎn)生的氧化物，降低了工件的抗疲勞性能。在滲碳熱處理加工過程中，無論是氮基氣氛還是滴注式氣氛，微量氧的存在仍是不可避免的。滲碳爐中氣體與工件材料存在氣固相平衡，爐內(nèi)的微量氧可以滲入工件產(chǎn)生內(nèi)氧化。解決方法：

一、     調(diào)節(jié)滲碳熱處理工藝

目前在丁業(yè)上使用的所有氣體滲碳的氣氛巾都含有氧化物，例如COz、CO、H20等，從熱力學上考慮，介質(zhì)巾氧化物或氧勢是鋼在熱處理中發(fā)生內(nèi)氧化的外因。為了減少內(nèi)氧化，首先必須存允許情況下盡可能降低氣氛中氧化物含量或氧勢，也就是提高碳勢進行滲碳處理。

二、     選用合適的鋼種

鋼中盡量避免氧化性合金元素，例如Cr、Mn、Si、Ti等，但是此種方法實現(xiàn)較為困難。

三、     進行無氧熱處理

例如在真空下使用不含氧的碳氮化合物如乙炔或甲烷中滲碳；或者在氨裂解氣或氮中添加甲烷或其他無氧的碳化物的氣氛中滲碳，但是由于投資大或和滲碳速度低或和爐內(nèi)沉積大量碳黑和碳勢不能控制等問題，而不能在工業(yè)上普遍應(yīng)用。

滲碳熱處理作為一種非常普遍的熱處理加工方式，有很多的優(yōu)點，但是在解決一些缺陷時，一定要結(jié)合實際，全面考慮問題，達到完美解決問題的目的。